产品参数
| 序 | 项目 | 规格 |
| 1 | 设备尺寸 |
1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D） （含底轮指示灯） |
| 2 | 电力需求 | 380V，16A |
| 3 | 腔体尺寸 | 尺寸：400mm*400mm*450mm（W*H*D），70L 材质：304 不锈钢 |
| 4 | 电极形式 | 内置平板式电极，尺寸：375*360mm； |
| 5 | 托盘载物 | 单层载物面积：340*340mm，共 6 层，层间距：50mm |
| 6 | 真空泵 | 油泵，抽速：60m3/h，极限真空：1Pa |
| 7 | 等离子发生源 | 13.56MHz；600w 连续可调 |
| 8 | 进气系统 | 共 2 路进气；0-500sccm 质量流量控制器 |
| 9 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
| 10 | 真空测量系统 | 日本爱发科皮拉尼真空计 |
| 11 | 处理时间 | 5-60min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用气体 | Ar、O2、N2、Ar+ H2、CF4、空气等 |
| 14 | 权限设置 | 两级权限 |
设备外形及尺寸参考图
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